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用于新材料新工艺的化学机械抛光液

2022-12-30

基于化学机械抛光液技术和产品平台，配合客户制程需求，研制开发用于新技术新工艺的化学机械抛光液。包括用于三维集成工艺中TSV硅通孔抛光液和混合键和抛光液，聚合物和碳等新材料用抛光液。多个产品已量产供应。